空气洁净度等级(N)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m³)
0.1μm
0.2μm
0.3μm
0.5μm
1 μm
5μm
1
10
2
2
100
24
10
4
3
1000
237
102
35
8
4
10000
2370
1020
352
83
5
100000
23700
10200
3520
832
29
6
1000000
237000
102000
35200
8320
293
7
352000
83200
2930
8
3520000
832000
29300
9
35200000
8320000
293000
洁净度级别
尘粒最大允许数/立方米(静态)
微生态最大允许数(静态)
换气次数
≥0.5um
≥5um
浮游菌/立方米
沉降菌/¢90皿0.5h
100级
3500
0
5
0.5
附注2
10000级
350000
2000
50
1.5
≥20次/时
100000级
3500000
20000
150
3
≥15次/时
300000级
10500000
60000
200
5
≥10次/时